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产品信息

外围设备
外围设备是指与切割机和研削机组合使用的设备。

超声波切割单元
　详细内容
超声波切割单元
超声波切割单元 使用专用刀片，可进行超声波援用加工的单元。
切割机用纯水循环装置
　详细内容
Ultrasonic-wave Dicing Unit
DWR1720 集纯水制造、水温调节、过滤、废液处理功能为一体的纯水循环再利用装置
恒温水供应设备
　详细内容
DTU162
DTU152 硅晶片的加工（切削水供应方式：放水式）
DTU1531
DTU162 电子元件的加工（切削水供应方式：循环式）
切割机专用电阻率调整装置
　详细内容
CO2インジェクタ
二氧化碳溶解器 抑制因切割中使用切削水而导致的微粒粘附以及由静电造成的不良影响。
全自动晶片清洗设备
　详细内容
DCS1460
DCS1440 对切割后的硅晶片、玻璃基板及陶瓷等加工物进行清洗。
DCS1460
DCS141*
(*) 停止生产

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精密加工设备
  
 
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