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DFL7340
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DFL7360FH
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DFL7360
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| 最大適用晶片直徑 |
適用於8英寸框架的隱形雷射切割機 |
ø適用於ø300mm晶圓的隱形雷射切割機 |
| 最大適用晶片直徑 |
ø8" |
ø300 mm |
| 最大適用框架 |
2 - 8 - 1 |
2 - 12 |
Frames not supported |
X軸
（工作台） |
切削可能範囲(mm) |
210 |
310 |
| 最大送り速度(mm/s) |
1,000 |
Y軸
（工作台） |
可切割範圍(mm) |
210 |
310 |
| 最小步進量(mm) |
0.0001 |
| Y軸定位精度 |
0.003以内/210（単一誤差）0.002以内/5 |
0.003以内/310（単一誤差）0.002以内/5 |
| 光學尺最小分辨率(mm) |
0.0001 |
| Z軸 |
雷射聚焦輸入範圍(mm) |
-2.000 - 5.000 |
| 最小移動量(mm) |
0.0001 |
| 重復定位精度(mm) |
0.001 |
θ軸
（工作台） |
最大旋轉角度(deg) |
380
(初始位置開始正方向320、負方向60) |
380
(初始位置開始正方向320、負方向60) |
380
(初始位置開始正方向320、負方向60) |
雷射
產生器 |
產生器模式 |
利用半導體雷射激發的Q開關單體雷射 |
設備尺寸(WxDxH)
(mm) |
1,000 x 1,800 x 1,990 |
1,100 x 2,100 x 1,990 |
1,700 x 3,265 x 1,998 |
| 設備重量(kg) |
1,960(無變壓器)
2,040(有變壓器) |
2,060 |
2,740(無變壓器)
2,820(有變壓器) |
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