φ8インチ対応、装置幅わずか650mmのコンパクトダイシングソー「DAD342」を製品化
株式会社ディスコ（本社：東京都大田区、社長：関家一馬）は、φ8インチ対応のマニュアルダイシングソー「DAD342」を新たに開発しました。本装置はSEMICON Japan 2009（12/2-4：幕張メッセ）に出展します。
開発の背景
φ8インチ対応のマニュアルダイシングソーとして、当社では既にDAD3350をラインアップしております。マニュアルダイシングソーの更なるシンプル・コンパクト化やダイシングプロセスの低コスト化のご要望が高まっていることから、今回新たにDAD342を開発しました。 |
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DAD342の特長
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◆基本仕様
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- φ8インチウェーハ、8インチ角ワーク※対応のブレードダイサ
※ 別途専用のジグが必要です
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◆コンパクト
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- 装置幅650mm
- フットプリントは当社既存機種のDAD3350の2/3
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◆ユーザビリティの追求
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- 上位機種で定評のあるオートアライメント機能を搭載
- 12.1インチのLCDタッチパネルと、GUI(Graphical User Interface)による直感的な操作を実現
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◆高い加工対応力
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- 高出力1.8kWスピンドルを採用することで、シリコンからセラミックなどの難削材の加工も可能
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◆メンテナンス頻度の低減
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- 顕微鏡レンズシャッター、スコープブロー機能を搭載することで、メンテナンス頻度を低減し、装置稼働率の向上が期待できます
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◆環境配慮設計
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- 欧州RoHS指令の特定6物質を含む15物質の非含有を実現
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今後の計画
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SEMICON Japan 2009 出展
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2009年12月
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量産開始予定
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2010年9月
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お問い合わせ先
本件に関するお問い合わせは以下の連絡先までお願いいたします。
株式会社ディスコ
広報室
Phone: 03-4590-1090 Fax: 03-4590-1076 |
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