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製品情報

ダイシング切削水用添加剤 - StayClean-F -

 StayClean-F カタログ
パッド腐食防止
StayClean-Fがワーク表面にバリア層を形成することで、大口径ウェーハや小型チップなど、切削水が長時間触れるワークにおいて、ボンディングパッドなど金属部に生じる腐食を防止します。
＜パッド腐食防止効果＞
純水のみ
StayClean-F使用時


パーティクル付着防止
ワーク表面のバリア層形成に加え、Siパーティクルの凝集を防ぐことで、ウェーハへのパーティクル付着を防止します。
＜パーティクル付着防止効果＞
純水のみ
StayClean-F使用時
ボンディングパッド部


StayCleanインジェクタ
StayCleanを切削水に注入するための専用ユニットです。
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