ソリューション

アプリケーション実例集

ダイシングソーの顕微鏡ラインアップ

ディスコのダイシングソーではお客さまの多様なアライメントターゲットやワーク伸縮などのニーズに対応するため、さまざまな顕微鏡をラインアップしています。

ダイシングソｰに搭載される顕微鏡は「マクロ顕微鏡」と「ミクロ顕微鏡」の二種類に大別されます。

◆マクロ顕微鏡の特徴

	・	ディスコのダイシングソーでは、オプション搭載としている場合が多い
	・	広範な視野での確認が可能なため、アライメントターゲットを見つけやすく、θ合わせも容易

◆ミクロ顕微鏡の特徴

	・	ディスコの全てのダイシングソーに標準搭載されている
	・	ウェーハパターンを大きく拡大することができるため、詳細の状態を確認できる

◆ミクロ&マクロ顕微鏡併用の特徴

・	アライメント時間の短縮
	→	ウェーハパターンを大きく拡大することができるため、詳細の状態を確認できる
	→	マクロ顕微鏡で先に粗合わせをすることによって、ミクロ顕微鏡でのアライメントが容易になる（θ軸粗合わせ、ターゲットの確認など）
・	操作性アップ
	→	マクロ顕微鏡でワークを広範囲で確認できるため、探したいターゲットを容易に見つけることができる
	→	マクロ顕微鏡で見つけたいターゲットに移動した後、ミクロ顕微鏡に切り替えてより詳しく確認することができる