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リチウムタンタレイト(LT)の高品質加工

アプリケーション加工実例

LTの高品質加工を紹介します。

加工実例

SAWデバイスの基板等に用いられる、4 inchLTウェーハのさらなる高品質加工が可能になりました。

面粗さデータ

Ra=約0.002 µm、Ry=約0.017 µmとなっています。

面粗さデータ

研削面状態

  • 従来の加工面

    従来の加工面
  • 高品質加工面

    高品質加工面

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株式会社ディスコ 営業本部 国内営業部

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