ソリューション

アプリケーション実例集

NCG（非接触厚み測定器）を用いた厚み制御

NCGとはNon Contact Gauge（非接触厚み測定器）の略称です。

ディスコのグラインダとグラインダ／ポリッシャでは通常、接触式のハイトゲージで厚みを測定しながら研削を行い、仕上げ厚みの制御を行っています。これに対してオプションとして装置に搭載できるNCGには、以下の利点があります。

	・厚み測定によるウェーハ破損リスク回避
		薄ウェーハや中空構造ワークなど、負荷に弱い加工対象に接触式の測定器を用いると、厚みを測定する事自体が破損のリスクになります。NCGは非接触で測定できるためこういったリスクを回避できます。

	・ウェーハ間のシリコン厚みばらつき抑制
		NCGはシリコン厚みのみの測定をおこなうため、表面保護テープやサブストレート、接着剤などの厚みがばらついている場合にも、シリコン部の厚みばらつきを抑えた研削が可能です。