다이싱쏘나 그라인더와 병용하는 장치입니다.
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| DWR1720 |
순수 제조, 수온 조절, 여과, 폐액 처리 기능을 겸비한 순수 리사이클 장치 |
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| DTU152 |
실리콘 웨이퍼의 가공 (절삭수 방수식) |
| DTU1531 |
| DTU162 |
전자부품의 가공 (절삭수 순환식) |
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| CO2인젝터 |
다이싱시 절삭수에 의한 파티클 부착 및 정전 파괴를 억제 |
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| DCS1440 |
다이싱 후의 실리콘 웨이퍼나 글라스 기판 세라믹등의 세정 |
| DCS1460 |
| DCS141* |
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| (*) Discontinued Machines |
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