
신개발 고강도 본드를 채택하여 고정밀도의 집중도 제어기술로 다양한 요구에 대응하는 Z09 시리즈
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Z09 시리즈는 특히 고품질 가공이 요구되는 섬세한 입경의 어플리케이션을 위한 전주 본드 블레이드입니다. 5단계의 집중도 라인업으로 품질과 수명의 밸런스를 갖춘 블레이드를 선택하실 수 있습니다. 또한 신개발 고강도 본드를 채택하여 진직성이 높은 가공과 가공속도 향상을 기대할 수 있습니다. |
특 징
- 집중도 세분화기술로 블레이드의 선택범위를 확충
- 지금까지 없었던 집중도 30의 블레이드 제품화를 실현
- 저집중도 블레이드를 선택하여 중간 드레싱을 저감
- 고강도 본드를 채택하여 진직성이 높은 가공・가공속도 향상을 실현
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집중도 범위
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| 집중도란, 블레이드에 포함되어 있는 다이아몬드 연마용 입자의 비율을 나타내는 수치입니다. 예를 들어, 집중도 100이란, 체적의 25%를 연마용 입자가 점유하고 있는 상태입니다. 집중도는 다이싱 가공에 있어서 소모량(라이프)과 품질(칩 사이즈)등에 영향을 주며, 그 집중도를 고정밀도로 제어하여 소모량과 품질을 보다 안정화시킬 수 있습니다. |
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가공 대상
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PZT, LiTaO3, 세라믹, 실리콘 웨이퍼, 기타 |
장착 가능장치
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풀 오토매틱 다이싱쏘: 6000시리즈, 600시리즈
세미 오토매틱 다이싱쏘: 3000시리즈, 300시리즈, 500시리즈 |
사 양
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*1 |
슬릿 폭은 모두 0.5mm입니다(SS는 제외). 블레이드 두께 0.04mm이상부터 대응 가능합니다. |
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*2 |
블레이드 두께 0.1mm이상부터 대응 가능합니다. |
PZT의 가공
Z09 시리즈는 세라믹 가공에도 종전의 NBC-Z 블레이드에서는 실현되지 않았던 속도로 가공이 가능합니다.
알루미나 세라믹의 가공
종전의 NBC-Z 블레이드에서는 어려웠던 깊은 홈 가공도 Z09 시리즈에서는 진직성이 높은 가공이 가능합니다.
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