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ZHFX시리즈
ZHFX시리즈
새로 개발한 산화물 웨이퍼 가공에 최적인 내마모성 본드를 채용. 지금까지 연속가공이 곤란했던 산화물 웨이퍼 절단을 안정적이면서 고품질의 연속가공을 가능케 했습니다. 또한, 리튬 탄탈레이트 웨이퍼의 DBG 프로세스 가공에 있어서도 보다 안정적인 가공결과를 기대할 수 있습니다.

특 징
  • 산화물 웨이퍼에서 고품질, 안정된 가공을 실현
  • 가공중의 트레싱 빈도를 큰 폭으로 삭감하여, 높은 연속가공 성능을 발휘
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ZHFX시리즈 Catalog　(PDF:493KB)
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