DWR1720은 다이싱 쏘용 초소형 순수 재활용 시스템입니다.
순수제조, 여과, 정온수 공급, 폐액처리 등 종전에는 개별 장치로 실시해왔던 기능을 한 대의 장비로 집약하였습니다.
본 장비 한 대로 듀얼 다이싱 쏘 2대 혹은 싱글 다이싱 쏘 4대까지 대응 가능.
고액의 설비투자가 불필요하며, 저가격으로 순수 재활용 시스템을 구축할 수 있습니다.
 DWR1720의 사양은 여기를 참조하십시오. |
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순수 재활용시스템을 저렴한 비용으로 구축
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DWR1720은 종전의 대형 순수 재활용시스템과 비교하여, 초기비용 및 운영 모두 저 코스트화를 실현. CoO를 낮게 억제하면서도 고객의 요구에 맞춘 순수 재활용시스템을 구축할 수 있습니다. |
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초기비용의 절감 1- 초소형이므로, 전용 건물이나 배관공사가 불필요 - |
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종전의 대형 순수 재활용시스템에서는 "순수제조" "여과" "폐액처리" 등의 설비를 격납하는 개별 건물이나 배관공사가 필요하며, 때문에 고액의 초기비용이 요구되어 왔습니다.
DWR1720은 공간절약 설계(W450 x D1,302mm)로 다이싱 쏘에 인접하여 클린 룸 내에 설치가 가능합니다. 때문에, 전용 건물이나 그에 따른 배관이 불필요하게 되며, 초기비용을 큰 폭으로 억제할 수 있습니다. |
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초기비용의 절감 2- 생산량에 맞게 유연한 설비 도입 - |
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DWR1720은 다이싱 쏘의 가동 대수에 맞게 도입, 가동할 수 있으며(듀얼 다이싱 쏘일 경우 2대, 싱글 다이싱 쏘의 경우 4대까지 대응), 고객의 생산량 증감에 맞게 유연하게 설비를 도입할 수 있습니다.
필요 이상의 대규모 설비를 도입할 필요가 없으므로, 감가상각이나 소모품 등의 비용을 낮게 억제할 수 있어, CoO 저감을 실현합니다. |
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운영비용의 절감 1- 낮은 시수 소비 - |
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디스코의 독자적인 고성능 필터인 "CC Filter" 를 채택하여, 순수 사이클 비율 99.8%를 달성함과 함께 폐수 제로를 실현했습니다. (0.2%는 기화에 의한 감소분)
이에 따라 비 재활용 순수제조 시스템과 비교하여, 시수의 사용량을 1/500까지 삭감할 수 있습니다. |
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운영비용의 절감 2- 낮은 소비전력 - |
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순수 재활용 비율이 높아 수온 변화가 적으므로, 절삭수와 스핀들 냉각수의 온도조정 부하를 절감하여, 종전의 "재활용 시스템 + 정온수 공급장치" 와 비교하여 소비전력을 큰 폭으로 절감했습니다. |
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운영비용의 절감 3- 파이널 필터의 장기 수명화 - |
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디스코의 독자적인 저렴한 1회용 필터 모듈인 "CC Filter" 를 1차 여과로 사용하여, 고가인 파이널 필터의 장기 수명화를 실현했습니다. |
안정성
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DWR1720은 다이싱쏘 2~4대의 그룹에서 독립된 순수순환 시스템이므로, 하나의 시스템에 불순물 혼입 혹은 시설사고가 발생으로 하여도 그외 그룹에는 전혀 영향을 끼치지 않습니다. 따라서, 종래와 같이 순수순환설비의 사고로 인한 다이싱쏘 그룹 전체의 운전정지가 발생하는 우려가 없습니다. |
DWR1720 활용 예
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기존 설비가 풀 가동상태로, 생산 증가를 위한 순수제조 능력이 다소 부족하다 |
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순수를 재활용하여, 순수비용을 절감하고자 한다 |
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순수 재활용설비를 다이싱 쏘의 대수에 맞게 낭비 없이 늘려가고자 한다 |
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대학이나 연구기관 등 생산규모가 작다 |
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