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超小型純水リサイクル装置DWR1710 客先初納入

半導体製造装置メーカー・株式会社ディスコ(本社:東京都大田区、社長:関家一馬)は、このたびダイシングソー用超小型純水リサイクル装置・DWR1710をお客様へ初納入しました。DWR1710は多機能だった既存機から純水リサイクルのみに機能を特化し、更なる小型化を実現したフットプリント僅か0.31 ㎡のコンパクトな装置です。DWRシリーズのラインアップ強化により、お客様の生産設備状況や生産量など、様々なニーズに即した純水リサイクルシステムの提供・構築が可能となっております。
DWRシリーズはシリコン廃水のみならず、化合物半導体やセラミック、ガラス等の切削廃水にも対応しています。今回の初納入先は、セラミックの切断加工用途でDWR1710とマニュアル型のダイシングソーを同時に導入し、工業排水配管のないクリーンルームで電子部品を省スペースで生産しております。また、従来は濾過装置のみを使用し、非純水を循環して生産していたため、配管清掃やダイシングソーのメンテナンスを高頻度におこなっていました。しかし、本機導入を機に純水循環に切り替えたことで、メンテナンス頻度を最小限に抑えることができるため、生産設備のダウンタイム抑制をも可能としています。

【開発の背景】
DWR1710
DWR1710

当社は2008年以来、ダイシング加工時の排水ゼロを実現する「DWRシリーズ」を展開し、30件以上の納入実績があります(本リリース日時点)。しかし、お客様側の既存設備の状況、加工スペースのキャパシティ、加工に必要な純水の流量、水温調整の要否、導入コストなど、切削水の供給・廃水処理設備に関するお客様のニーズは多様化しておりました。そのため、ダイシングソーやグラインダ等精密加工装置のみならず、付帯設備であるDWRシリーズにおいてもラインアップを拡充し、お客様がより最良の選択ができる環境を整備する必要がありました。

【DWR1710の特長】
● 純水リサイクルに機能を特化
小型化と低価格化実現のため、標準機能を純水製造、ろ過および浮遊物質廃棄のみに絞りました。なお、既存機の一部機能はオプションにて対応可能です。
● 使用流量の少ないマニュアルダイシングソーに最適
切削水送水能力を10 L/minとし、本機1台でマニュアルダイシングソー2~3台※1に対応します。
※1:純水使用流量による。加工時の必要流量が10 L/min以下なら、フルオートマチックダイシングソーにも対応
● 省フットプリント
機能を絞ったことで、本機の設置面積はDWR1722比57 %減を実現。生産スペースの効率化が可能です。
● DWR1710専用設計のイオン交換樹脂ユニット・D-ion®※2
※2:商標登録第5848425号
本機では、専用容器に高性能なイオン交換樹脂を封入した、軽量型のイオン交換樹脂ユニットを使用できます。容器が樹脂製であるため、産業廃棄物として処分できます。なお、従来のイオン交換樹脂ユニットも使用可能です。
既存機とのフットプリント比較
既存機とのフットプリント比較
D-ion
D-ion®

DWRシリーズ比較

DWR1710 DWR1722
純水リサイクル処理流量 10 L/min 25 L/min
処理後の比抵抗値 12~18 MΩ·㎝
対応ダイシングソー台数目安※1 マニュアルダイサ2~3台 マニュアルダイサ4台
フルオートダイサ2台
水温調整 オプション(別置き) 標準
スピンドル冷却水冷却機能 オプション(別置き) 標準
TOC※3 無し オプション
排水圧送ポンプ 無し オプション
ダイシングソーとの通信機能 無し オプション
パーティクルカウンタ 無し オプション
寸法(W x D x H) 780 x 400 x 1,450 mm 450 x 1,402 x 1,656 mm
質量 約200 kg 約450 kg
※3:Total Organic Carbon(全有機炭素)の略。水中に含まれる有機物の量を指します
【DWRシリーズ 共通特長】

「DWRシリーズ導入10のメリット」  ※詳細は全10回に分け、随時公開しております

お問い合わせ
株式会社ディスコ 広報室
電話: 03-4590-1090
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