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形状認識による異形ウェーハの加工について

アプリケーション加工実例

通常、ダイシングソーは、円か四角の形状のワークを加工します。そのため、三角形や割れたウェーハなどの異形ワークでは、無駄な加工をしてしまうことがあります。そこで、ダイシングソーに形状認識ユニットを搭載すると、異形ワークでも形状を正確に認識できるため、最適なストロークで加工し、スループット向上が可能です。形状認識ユニットはオプションで搭載可能です。

加工事例

異形のワークを最適なストロークで加工したい場合に、形状認識ユニットを使用します。

形状認識ユニット

以下は、弊社装置において、CCDカメラを用いて形状認識を行っているときの画像です。

CCDカメラ
Photo1:形状認識の様子

※装置によって形状認識ユニットの搭載可否がございますので、弊社営業までお気軽にご相談ください。

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株式会社ディスコ 営業本部 国内営業部

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