股東 · 投資者資訊

HOME > 產品介紹 > 拋光機・乾式蝕刻機

產品介紹

拋光機・乾式蝕刻機

乾式蝕刻機

全自動研磨/拋光機 8000系列

全自動拋光機 8000系列

全自動乾式蝕刻機 8000系列

			最大加工物尺寸	主軸數量	工作盤數量	應用領域
研磨/拋光機	8000 系列	DGP8760*	300mm	3	4	晶片背面的拋光研磨
研磨/拋光機		DGP8761	300mm	3	4	晶片背面的拋光研磨
拋光機		DFP8140	8"	1	1	晶片背面的拋光
拋光機		DFP8160	300mm	1	1	晶片背面的拋光
乾式蝕刻機		DFE8040	8"	-	1	晶片背面的蝕刻加工
乾式蝕刻機		DFE8060*	8"/300mm	-	1	晶片背面的蝕刻加工

(*) 停産設備

週邊設備	詳細內容

新製程	詳細內容

精密加工装置

切割機(Dicing and Cutting Saw)

雷射切割機(Laser Saw)

研磨機(Grinder)

拋光機(Polisher),
乾式蝕刻機(Dry etcher)

研磨機/拋光機 8000系列

拋光機 8000系列

乾式蝕刻機 8000系列

分離擴片機(Die Separator)

鉋平機(Surface Planer)

水刀切割機(WaterJet Saw)

適用於新製程的產品

精密加工工具

乾式拋光輪

安全使用說明

其他產品

下載

下載產品目錄

SECS/GEM Communication Specification Downloads

Personal Information Protection Policy