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| ZHZZ시리즈는 협소한 스트리트 등 박막 블레이드를 사용하는 가공에 초점을 맞추어 개발된 허브 블레이드입니다. 새롭게 개발한 강도 높은 H1 본드를 채택하여, 박막 블레이드 영역의 블레이드 파손이나 사행을 저감하고, 안정가공을 실현합니다. 업계에서 가장 얇은 10µm 블레이드를 비롯한 라인업에서, 더욱 좁은 스트리트 웨이퍼에 대한 대응에 공헌합니다. |
- 박막 커프 영역에서의 블레이드 파손/사행의 저감
- 협소한 스트리트에서의 안정가공이 가능
- 10µm의 초박막 허브 블레이드를 실현
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