600シリーズ - Fully Automatic Dicing Saw -
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DFD600シリーズはワークの搬送・アライメント・カット・洗浄/乾燥までを一貫して行うフルオートダイシングソーです。
DFD651、DFD691はスピンドルが並列に配置されているパラレルデュアル構造になっており、2軸を用いたデュアルスピンドルアプリケーション（ステップカット、ベベルカット、デュアルカット）が可能です。
また、シリコンウェーハの切断以外にも、セラミックス切断やパッケージシンギュレーション（分割）など幅広い分野で活用されています。
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DFD641 / DFD651
（生産終了） |
DFD681 / DFD691
（生産終了） |
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| 最大ワークサイズ |
ø 203.2 |
| 対応フレーム |
2-6, 2-8 |
| X軸 |
切削可能範囲(mm) |
210 |
| 送り速度入力範囲(mm/s) |
0.1 - 450 |
| Y軸 |
切削可能範囲(mm) |
210 |
| インデックスステップ(mm) |
0.0001
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| 位置決め精度(mm) |
0.003以内/210
(単一誤差) 0.002以内/5 |
| スケール分解能(mm) |
0.0002 |
y軸
(DFD651,691） |
有効ストローク(mm) |
26 |
| 位置決め精度(mm) |
0.002以内/26 |
| スケール分解能(mm) |
0.0002 |
| Z1·Z2軸 |
有効ストローク
(mm) |
7.2 (ø 2"ブレード時) |
15.9 (ø 3"ブレード時) |
移動分解能
(mm) |
0.00025 |
繰り返し精度
(mm) |
0.001 |
| 使用ブレード最大径(mm) |
ø 55.56 |
ø 76.2 |
| θ軸 |
最大回転角度
(deg) |
380 |
| スピンドル |
定格出力
(kW) |
1.0 at 60,000 min-1 |
2.2 at 30,000 min-1 |
定格トルク
(N・m) |
0.16 |
0.70 |
回転数範囲
(min-1) |
6,000 - 60,000 |
3,000 - 30,000 |
装置寸法(WxDxH)
(mm) |
DFD641：1,185 x 1,168 x 1,235
DFD651：1,350 x 1,168 x 1,235 |
1,350 x 1,168 x 1,235 |
装置質量
(kg) |
DFD641：約1,000
DFD651：約1,300 |
約1,300 |
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本仕様は、改良のためお断りなく変更させていただくことがあります。ご発注の際には、ご確認いただけますようお願いいたします。
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