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InP（インジウム燐）の高品質加工
ホイール、加工条件の最適化により、高速デバイス等に用いられるInP（インジウム燐）の高品質加工が可能です。
最適な加工条件の選択により、従来と比較して加工面の状態が改善しています。
改善前
改善後
Fig1. 加工面の顕微鏡写真
参考.） 3インチInPウェーハ加工後（加工条件最適化後）の面粗さ
面粗さRa：0.004μm
面粗さRy：0.033μm
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