フレームチャック使用による研削（2003年2月更新）の続編として、今回はフレームチャック使用による多枚同時研削を紹介します。
◆多枚同時研削方法
| ダイシングフレームに貼り付けたテープ上に複数枚のワークを貼り付け、DAG810のチャックテーブルに固定し研削します。 |
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| 多枚同時研削フレームチャック概略図 |
◆対応可能ワーク
| 小径丸形状／楕円形状／四角形状など、さまざまなワーク形状に対応可能です。（チャックテーブル径は8inchと12inchが選択可能） |
◆加工実績
| パッケージング後、樹脂塗布時の応力により大きな反りの発生したワーク（モールドされたチップ）、1/4形状にカットしたSiウェーハ、Siチップ、LT実装基盤、ガリウム砒素基盤、サファイア基盤など。 |
◆お問合せ
| この内容に関するお問い合わせは、アプリケーションWebヘルプデスクにて承ります。（お問い合せの流れ） |
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