今回はフレームチャック使用による多枚同時研削を紹介します。

多枚同時研削方法

ダイシングフレームに貼り付けたテープ上に複数枚のワークを貼り付け、DAG810のチャックテーブルに固定し研削します。

対応可能ワーク

小径丸形状／楕円形状／四角形状など、さまざまなワーク形状に対応可能です。（チャックテーブル径は8inchと12inchが選択可能）

加工実績

パッケージング後、樹脂塗布時の応力により大きな反りの発生したワーク（モールドされたチップ）、1/4形状にカットしたSiウェーハ、Siチップ、LT実装基板、ガリウム砒素基板、サファイア基板など。

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