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ソリューション


アプリケーション実例集

ダイシング グラインディング ポリッシング DBG
2012年2月3日 InP(インジウム燐)の高品質加工 New!
2011年9月30日 リチウムタンタレイト(LT)の高品質加工
2011年7月29日 6inch GaAsウェーハテープ固定薄化の実績
2011年3月2日 研削ダメージによる反りについて
2010年11月26日 GaAsウェーハのテープ固定による薄化
2010年9月30日 TAIKO研削-中心ずらし研削について-
2010年5月27日 TAIKOウェーハの応用例
2010年3月29日 NCG(非接触厚み測定器)を用いた厚み制御
2009年12月16日 ガラス鏡面加工
2009年10月28日 GaAs研削用ホイール
2009年10月2日 中空構造ウェーハの研削
2009年7月29日 リング研削
2009年5月12日 多枚研削
2008年11月27日 SiCの高品質加工
2008年5月9日 新開発「UltraPoligrind」の特徴
2008年4月8日 AlTiCの6inchウェーハの安定研削
2007年11月30日 TAIKOプロセスの加工品質
2007年10月9日 薄仕上げについて-4
2007年3月9日 TAIKO研削のメリット
2006年10月31日 ガラス研削
2006年9月4日 研削における低負荷加工の重要性
2005年9月30日 バンプ付きウェーハ研削
2005年8月2日 リチウムタンタレイト(LT)研削
2005年5月31日 薄研削時のチップ反り量について
2005年3月14日 ウェーハダメージのTEM写真
2004年12月13日 極薄ウェーハの紹介
2003年8月4日 高精度研削
2003年2月24日 フレームチャック使用による研削(特許出願中)
2003年2月3日 薄仕上げについて-3
2002年12月16日 樹脂研削
2002年11月25日 薄仕上げについて-2
2002年9月30日 薄仕上げについて
2002年8月12日 インフィードとクリープフィード
  グラインダーZ1軸(粗研削)、Z2軸(仕上げ研削)の目的及び面状態の違い
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