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アプリケーション実例集

TAIKO研削－中心ずらし研削について－

TAIKO研削とは、当社が開発したウェーハバックグラインディング技術です。ウェーハ裏面外周部を3mmほど残して内側のエリアのみを研削することで、反りによる割れや欠けを防止します。

今回はTAIKO研削の応用例として、中心ずらし研削をご紹介します。

◆中心ずらし研削とは?

研削位置を調整して、ウェーハの中心位置と研削位置の中心をずらしておこなう研削

◆中心ずらし研削のメリット

この研削方法を応用することにより、TAIKO研削ではオリフラウェーハの有効エリアを拡大することが可能です。

◆中心ずらし研削　加工例

6inchウェーハ（ショートオリフラ）の場合の加工例をご紹介します。
（使用機種：DAG810　TAIKO仕様）

Fig.1　通常研削

Fig.2　中心ずらし研削

◆お問い合わせ

この内容に関するお問い合わせは、アプリケーションWebヘルプデスクにて承ります。（お問い合わせの流れ）

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