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ディスコHOME > ソリューション > アプリケーション実例集 > グラインディング | |
強い反りは、加工中のバキュームリークやハンドリング時の吸着不足によるウェーハ落下の原因となります。裏面研削ダメージのストレスが表面よりも大きい場合の反りを順反りと呼び、表面を下にして凸方向の反りが発生します。また、凹方向の反りは逆反りと呼びます。 ここでは、研削ダメージによる反り量について説明します。 ◆研削ダメージによる反りのイメージ （反りの方向：順反り）
◆研削ダメージ（砥粒経別）による反り量
◆お問い合わせ
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