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製品情報
グラインダ
グラインダとは
フルオートマチックグラインダ 8000シリーズ
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フルオートマチックグラインダ DFG830
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セミオートマチックグラインダ DAG810
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最大対応
ワークサイズ
スピンドル
軸数
チャック
テーブル数
アプリケーション
グラインダ
800
シリーズ
DAG810
8"
1
1
半導体デバイス、セラミックス
DFG830
(生産終了)
8"
2
2
ウェーハ両面研削
8000
シリーズ
DFG8540
8"
2
3
ウェーハ裏面研削
DFG8560
300mm
2
3
DFG8830
6"
4
5
サファイヤやSiCなど
硬脆材料
周辺機器
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新プロセス
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精密加工装置
ダイシングソー・
カッティングソー
レーザソー
グラインダ
8000シリーズフルオート
800シリーズフルオート
800シリーズセミオート
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ウェーハマウンタ
ダイセパレータ
サーフェースプレーナー
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