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Grinder / Polisher

ウェーハの裏面研削からポリッシングまでを同一チャックテーブルで行い、安定性の高い薄仕上げ加工を実現する装置です。
ウェーハマウンタとインライン化することで、DBGシステやDAF(Die Attach Film)を使用したアプリケーションの構築も可能です。
DGP8761
DGP8761
最大ワークサイズ mm ø300
スピンドル 軸数   3
出力(Z1~Z3) kW 6.3
回転数(Z1~Z3) min-1 1,000 - 4,000
C/T数 4
精度 厚さバラツキ
(ウェーハ内,ウェーハ間)
μm 2.5以下、±2.5以下
仕上がり面粗さ μm Ra 0.005以下
諸元 寸法(WxDxH) mm 1,690 x 3,315 x 1,800
質量 kg 約6,700
※ 装置の写真をクリックすると製品カタログ(PDF)が開きます

Polisher

ポリッシャとは
水や薬液を使用せず環境負荷の少ない完全乾式研磨(ドライポリッシング)でウェーハ裏面の研削歪みを除去する装置です。
DFP8140 DFP8160
DFG8540 DFG8560
最大ワークサイズ mm ø200 ø300
スピンドル 軸数   1
出力(Z1~Z3) kW 4.8 7.5
回転数(Z1~Z3) min-1 1,000 - 4,000 1,000 - 3,000
C/T数 1
精度 厚さバラツキ
(ウェーハ内,ウェーハ間)
μm ±1.0以下(平均2μm除去時、ウェーハ内)
諸元 寸法(WxDxH) mm 1,200 x 2,670 x 1,800 1,400 x 3,322 x 1,800
質量 kg 約1,900 約2,400
※ 装置の写真をクリックすると製品カタログ(PDF)が開きます

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