DFS8910，DAS8920/8930
- Fully Automatic Surface Planer -
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DFS8910，DAS8920/8930は、LCDドライバのAuバンプを平坦化・ディンプルレス化することで、接合不良を低減する装置です。
ローディングから加工後の洗浄、カセットへの収納までを全自動で対応し、安全なウエーハ搬送が可能です。また樹脂、延性材料の金属（金、銅、アルミ）の加工にも対応し、高度な平坦化を実現します。
| 加工事例の紹介 |
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DFS8910
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DAS8920
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DAS8930
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| 最大ワークサイズ |
ø 8" * |
ø 300mm |
| スピンドル軸数 |
1 |
| チャックテーブル数 |
1 |
| 搬送部・洗浄 |
有り |
無し |
| 加工精度 |
ウェーハ内のバンプ高さバラツキ（µm） |
2.0 以下 |
3.0 以下 |
| チップ内のバンプ高さバラツキ（µm） |
1.0 以下 |
| バンプ面粗さ（µm） |
Rz 0.1 以下 |
装置寸法(WxDxH)
(mm) |
1,200 x 2,670 x 1,800 |
500 x 1,250 x 1,780 |
730 x 1,700 x 1,780 |
装置質量
(kg) |
約1,900 |
約800 |
約1,500 |
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| * |
ø 8"より大きいワークの加工をご希望のお客さまは、弊社担当営業までご連絡ください。
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