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生産終了装置情報

生産を終了した装置の情報を掲載しています。

ディスコでは当該製番出荷後から7年間(84ヶ月)を部品供給保証期間としています。
ただし、一部の部品(詳細)でこの期間が短縮される場合があります。
部品供給保証期間を超えた装置でも、可能な限り部品供給の努力をしてまいりますが、 環境の変化、状況により供給できなくなる場合もございます。

※ 改訂日:2023/7/27

詳細は最寄りのアフターサービス担当までご連絡ください。

旧機種の取扱説明書のデータを販売しています。
ご購入いただいた当社製中古半導体製造装置のメンテナンスにお役立てください。
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  • グラインダ
  • その他装置
  • 周辺装置
機種名 生産終了年月 部品供給状況
DAC-2SP/6 1984/11 終了
DAC-2SP/65 1988/11 終了
DAC-2SP/86 1993/09 一部供給終了
DAC-2SPH 1992/09 終了
DAC350 1997/10 一部供給終了
DAC351 2005/03 一部供給終了
DAC-4SP/126 1991/03 終了
DAC-4SPI/126 1991/03 終了
DAC550 1997/06 一部供給終了
DAC551 1998/04 一部供給終了
DAC552 2005/09 一部供給終了
DAC750 1994/10 終了
DAC770 1994/02 終了
DAD-2H 1978/01 終了
DAD-2H/5 1984/10 終了
DAD-2H/5LI 1983/02 終了
DAD-2H/6 1990/02 終了
DAD-2H/6M 1993/09 終了
DAD-2H/6T 1994/02 一部供給終了
DAD-2H/6TM 1993/09 一部供給終了
DAD-2H/8 1988/03 終了
DAD-2SP/6T 1994/03 一部供給終了
DAD-3D/8 1994/03 一部供給終了
DAD-3S/8 1994/11 一部供給終了
DAD320 1997/07 一部供給終了
DAD321 2010/12 一部供給終了
DAD322 2016/10 継続中
DAD3220 2021/10 継続中
DAD323 2021/10 継続中
DAD3230 2021/10 継続中
DAD3240 2021/10 継続中
DAD340 1997/04 一部供給終了
DAD341 2004/03 一部供給終了
DAD360 1997/12 一部供給終了
DAD361 2005/09 一部供給終了
DAD3650 2022/03 継続中
DAD3660 2022/03 継続中
DAD380 1996/11 一部供給終了
DAD381 2006/03 一部供給終了
DAD520 1995/07 一部供給終了
DAD521 1997/12 一部供給終了
DAD522 2005/12 一部供給終了
DAD560 1997/07 一部供給終了
DAD561 1998/02 一部供給終了
DAD562 2005/07 一部供給終了
DAD640 2000/05 一部供給終了
DAD641 2005/03 一部供給終了
DAD650 1997/03 一部供給終了
DAD651 2005/06 一部供給終了
DAD680 1997/05 一部供給終了
DAD681 2005/08 一部供給終了
DAD685 2005/12 一部供給終了
DAD690 1998/09 一部供給終了
DAD691 2005/09 一部供給終了
DAD695 2005/12 一部供給終了
DFD-2D/8 1997/06 一部供給終了
DFD-2HS 1991/03 終了
DFD-2HST 1991/03 終了
DFD-2HSTI 1991/03 終了
DFD-2S/8 1993/09 一部供給終了
DFD-3D/8 1994/06 一部供給終了
DFD-3S/8 1993/03 一部供給終了
DFD620 1997/10 一部供給終了
DFD6360 2005/04 一部供給終了
DFD640 2000/07 一部供給終了
DFD641 2005/03 一部供給終了
DFD650 1997/03 一部供給終了
DFD651 2005/06 一部供給終了
DFD660 2005/09 一部供給終了
DFD670 2005/09 一部供給終了
DFD680 1999/02 一部供給終了
DFD681 2005/08 一部供給終了
DFD690 1997/07 一部供給終了
DFD691 2005/09 一部供給終了
機種名 生産終了年月 部品供給状況
DAL7020 2019/04 継続中
DFL7020 2019/04 継続中
機種名 生産終了年月 部品供給状況
DFG-81IF/8 1993/11 一部供給終了
DFG-82IF/8 1995/06 一部供給終了
DFG-83H/6 1994/04 一部供給終了
DFG830 2007/05 一部供給終了
DFG840 2000/08 一部供給終了
DFG841 2004/09 一部供給終了
DFG850 2005/03 一部供給終了
DFG860 2006/03 一部供給終了
DFG870 2002/08 一部供給終了
DFG871 2005/09 一部供給終了
DGP8760 2011/03 一部供給終了
DGP8761HC(SC) 2018/11 継続中
機種名 生産終了年月 部品供給状況
DFE8040 2011/12 継続中
DFE8060 2011/09 継続中
機種名 生産終了年月 部品供給状況
DAE220 1996/06 終了
DCS140 1999/03 一部供給終了
DCS141 2008/03 一部供給終了
DCS-6 1994/07 終了
DFM-A150 1991/06 終了
DFM-A150DI 1994/07 終了
DFM-M150 2000/03 一部供給終了
DFM-M200 2000/04 一部供給終了
DFM-S150 2000/03 一部供給終了
DFM2700 2015/12 一部供給終了
DFT240 2003/01 一部供給終了
DMM080 1998/03 終了
DMU210 2001/06 一部供給終了
DPM2190 2019/03 継続中
DSM060 2000/07 一部供給終了
DSM080 1999/06 一部供給終了
DTU150 2000/03 一部供給終了
DTU151 2002/09 一部供給終了
DTU1530 2004/12 一部供給終了
DTU1531 2020/03 継続中
DTU160 1998/10 終了
DTU170 2001/09 一部供給終了
DWR1720 2012/07 継続中
DWR1721 2016/08 継続中
DWT-13R 1992/03 終了
DWT-13R2 2004/03 一部供給終了
DWT-19DI 1995/03 終了
DWT-19E 2003/03 一部供給終了

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