周辺装置
超音波ダイシングユニット
超音波ダイシングユニット
専用のブレードを用いて超音波援用加工を可能にするユニット
DWR1722
ダイシングソー用 純水リサイクル装置
純水製造、水温調整、ろ過、廃液処理の機能を併せ持つ純水リサイクル装置
DTU1550
定温水供給装置
シリコンウェーハ、電子部品の加工（切削水 循環式）
DTU162
定温水供給装置
シリコンウェーハ、電子部品の加工（切削水 循環式）
CO2インジェクタ
ダイシングソー専用 比抵抗値調整ユニット
ダイシング時の切削水によるパーティクル付着および静電破壊を抑制
DCS1440
オートマチックウェーハ洗浄装置
ダイシング後のシリコンウェーハやガラス基板セラミック等の洗浄
DCS1441
オートマチックウェーハ洗浄装置
ダイシング後のシリコンウェーハやガラス基板セラミック等の洗浄
DCS1460
オートマチックウェーハ洗浄装置
ダイシング後のシリコンウェーハやガラス基板セラミック等の洗浄
CC Filter Unit
ダイシングソー用超小型ろ過システム
独自フィルタにより、ろ過処理のランニングコストを低減
関連製品
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加工中のパーティクル付着やパッドの腐食を防止
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StayClean-R
ダイシング切削水用添加剤
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StayClean301
ダイシング切削水用添加剤
加工中のパーティクル付着やパッドの腐食を防止
StayCleanインジェクタ
StayClean注入専用ユニット
高度な濃度管理が可能なStayClean添加装置
HogoMax
水溶性保護膜
デブリ付着を大幅抑制
テープフレーム
ダイシング時にワークを固定
ダイシング用カセット
ダイシングフレームに貼付されたワークを収納
グラインダ用カセット
薄残し用ダブルスロットカセット
PRECUTBOARD®
プリカットツール
