주변장치
Ultrasonic-wave Dicing Unit
초음파 다이싱 유닛
전용 블레이드를 사용하여 초음파 가공을 가능케 하는 유닛입니다
DWR1722
다이싱 쏘용 순수 리사이클 장치
순수 제조, 수온 조절, 여과, 폐액 처리 기능을 겸비한 순수 리사이클 장치
DTU1550
정온수 공급장치
실리콘 웨이퍼、전자부품의 가공 (절삭수 순환식)
DTU162
정온수 공급장치
실리콘 웨이퍼、전자부품의 가공 (절삭수 순환식)
CO2 Injector
다이싱쏘 전용 비저항값 조정장치
다이싱시 절삭수에 의한 파티클 부착 및 정전 파괴를 억제
DCS1440
오토매틱 웨이퍼 세정장치
다이싱 후의 실리콘 웨이퍼나 글라스 기판 세라믹등의 세정
DCS1441
오토매틱 웨이퍼 세정장치
다이싱 후의 실리콘 웨이퍼나 글라스 기판 세라믹등의 세정
DCS1460
오토매틱 웨이퍼 세정장치
다이싱 후의 실리콘 웨이퍼나 글라스 기판 세라믹등의 세정
CC Filter Unit
다이싱쏘용 초소형 여과 시스템
Unique filter design for low filtration running costs
관련제품
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다이싱 절삭수용 첨가제
가공 중 파티클 부착 및 패드 부식 방지
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다이싱 절삭수용 첨가제
가공 중 파티클 부착 및 패드 부식 방지
StayClean Injector
StayClean주입 전용 유닛
고도의 농도관리가 가능한 StayClean 공급장치
HogoMax
수용성 보호막
이물질 부착을 대폭 억제
테이프 프레임
다이싱시에 자재를 고정하는 프레임입니다.
다이싱용 카세트
다이싱 프레임에 부착된 자재를 수납하는 카세트입니다
그라인딩용 카세트
씬 웨이퍼용 더블 슬롯 카세트
PRECUTBOARD®
Precutting Tools