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内製モータのご紹介

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ディスコの精密加工装置には、多種多様なモータが搭載されています。特に砥石を高速回転させるスピンドルや、ワークを固定するチャックテーブルなど、加工品質に直結する重要部品には、当社が自ら開発・製造する内製モータを採用しています。
内製化によって装置ごとに最適な仕様を追求できるだけでなく、仕様変更にも柔軟に対応することが可能です。一方で、加工品質に影響しない部分では、コストや品質面で購入品が有利な場合もあり、内製品と組み合わせて使用しています。モータ開発の過程で積み重ねられた知見は、ディスコ製品の付加価値として反映されています。

モータ開発の歴史

ディスコのダイシングソー用スピンドルには、1990年代から信濃電気株式会社製のモータが搭載されてきました。2006年には信濃電気が当社子会社「ダイイチコンポーネンツ」となり、チャックテーブル用のダイレクトドライブモータ(DDM)の開発が本格化しました。さらに2018年にはディスコ長野事業所を開設。グラインダやレーザソー向けをはじめとした内蔵モータの開発も、ディスコ主導で進めるようになりました。

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多様な内蔵モータ

スピンドル用モータ

モータ部とブレードやホイールを取り付ける回転軸が一体化したモータ。

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特徴

スピンドルは、高トルクで高速回転する装置の動力源となる極めて重要な部品です。「高トルク」「高速回転」「小型化」など、装置仕様に合わせた最適設計が可能で、性能バリエーションを多数ラインナップしています。さらにお客様のニーズ(より大きなトルク、回転数向上、多極化など)に合わせた仕様変更やカスタマイズにも柔軟に対応可能です。

スピンドルステータ(計6種類)

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チャックテーブル用モータ

加工時にワークを固定するチャックテーブルを回転させる直動モータ(ダイレクトドライブモータ:DDM)。

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特徴

従来のサーボモータは歯車を介して高トルク化しますが、歯車の隙間により誤差が生じます。DDMは中間機構を排除することでこの誤差をなくし、高トルク・高精度な制御を実現します。さらに、DDM上部に取り付けられるチャックテーブルの角度を高速かつ高精度に変更できるため、ワークの正確な切り出しや平坦度の高い研削に大きく寄与します。また、中空径が大きく配線や配管の取り回しが容易なため、チップ切り出し以外の用途にも応用可能です。UPH向上、メンテナンス性改善、低振動化、省スペース化にもつながります。

ダイレクトドライブモータ(DDM)(計3種類)

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インホイール用モータ

駆動輪のハブ内部に組み込まれるモータ。

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特徴

駆動輪と一体構造のため、精密な制御が可能です。当社開発のウェーハ自動搬送ロボットに採用しており、クリーンルーム内での使用を想定し、中間機構に用いられるベルトを廃止することで発塵性を改善しています。


洗浄・コーティング用モータ

ウェーハに保護膜を塗布するテーブルや洗浄用テーブルを回転させるモータ。

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特徴

モータ内部に中空軸を設け、チャックテーブル用の配管を兼ねることで、内部からのオイル飛散を防止。クリーンな環境に適した構造となっています。


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