DISCO
Japanese Chinese Traditional Chinese Simplified Korean English
サイトマップ
会社情報 株主・投資家情報 CSR情報 採用情報
HOMEニュースリリースソリューション製品情報カスタマーサポートお客さまの満足のためにお問い合わせ
ディスコHOME > ニュースリリース

ニュースリリース


プレスリリース

スマートフォン等による精密加工装置の監視・制御システムを開発

半導体製造装置メーカー・株式会社ディスコ(本社:東京都大田区、社長:関家 一馬)は、スマートフォンやPC等の端末で、複数の精密加工装置を監視・制御できるシステムを開発しました。SEMICON Japan 2018(12/12-14:東京ビッグサイト)にて本システムをコンセプト展示いたします。

装置監視・制御システム概要

トーク画面

タイムライン画面

複数の精密加工装置を、スマートフォン・PC等の端末から“タイムライン・トーク形式”で監視・制御するシステムです。

複数装置を集約して監視・制御
複数台の装置を同一ネットワーク上に配置し、端末からWi-Fiなどを通じて接続することで、従来は装置モニタで個別に行っていた監視・制御を、手元で一括して行えます。
タイムライン・トーク形式
端末から装置にメッセージを送ると、その内容に対する返信が各装置から届きます。また、装置の運転開始/終了時やエラーなどが発生したタイミングで、装置側からメッセージを受け取ることもできます。「稼働状況」「ブレード品種・摩耗量」「エラー発生」等、装置モニタ上で行う監視・制御を手元で対応することができ、やりとりの履歴は時系列で表示されます。
安全性を考慮し、設定対象からあえて外している制御もあります
メリット

離れた場所からの一括対応

装置ダウンタイムの削減
従来、オペレータが各装置のモニタで個別に行っていた監視・制御を、一括して、かつ装置から離れた場所においても実施できるため、ダウンタイムの削減が期待できます。例えば、ある装置のウェーハカセット交換と別装置のブレード交換タイミングを知らせるメッセージが端末に届いた場合、交換用のカセットとブレードをまとめて現場に持参することで、ダウンタイムを削減することができます。
オペレータコスト減
半導体製造装置が設置されているクリーンルームの外側からの監視・制御が可能です。そのため、防塵服への着替えやエアシャワーの通過等、クリーンルームに出入りするオペレータに都度発生する時間を抑制することができます。

Webブラウザを使用

専用の端末は不要
Webブラウザを使用しているシステムのため、既存のインターネット環境が活用できる上、専用アプリケーションやソフトのインストールは不要です。そのため、別用途で使用中のスマートフォンやタブレット、PCなどを兼用することができます。また、複数の端末で同一装置グループを監視・制御できるため、オペレータ間の端末の受け渡しも不要です。
今後の予定
2018年12月 : SEMICON Japan 2018参考出展
お問い合わせ
株式会社ディスコ 広報室
Phone: 03-4590-1090
ニュースリリース

レーザエンジニア募集中(キャリア採用)
個人情報保護方針
利用規約
弊社の社名利用について
古物営業法に基づく表示
弊社製品の使用に対する補償ポリシー
このページのトップへ