DIS100DISCO Inspection System
チップのピックアップから強度測定までを全自動で実現
- Φ300 mmウェーハ対応
全自動チップ検査装置
ダイシング後のウェーハからチップをピックアップし、厚さ・チッピング 測定、裏面粗さ測定、抗折強度 測定※1（破壊検査）を全自動で実施します。 全自動化することで、手作業起因による抗折強度測定のばらつきを最 小限に抑えつつ、効率的なチップ品質管理が可能になります。
※1抗折強度 : チップを曲げて破壊した時の最大応力
ワークフロー
- カセットを設置
- アラインメントチップをピックアップ
-
チップ観察：
側面測定 (厚さ、チッピング)
裏面測定 (面粗さ) - 抗折強度測定：3点曲げ試験
抗折強度測定
3点曲げ試験による抗折強度測定
割れ観察
チップ側面測定※2
厚さ測定
表裏面のチッピング測定
チップ裏面測定※2
研削面の面粗さ測定
UNITRAY（ディスコオリジナルICチップトレイ）仕様※2
側面・裏面測定後の指定チップをディスコ独自のUNITRAYに移載し、コンパクトに保管することができます。チップ情報をバーコード化、トレイにラベリングができるためトレーサビリティなどの情報管理が容易です。
※2 オプション対応
UNITRAY仕様のワークフロー
- カセットを設置
- アラインメント
チップをピックアップ - チップ観察
- チップをUNITRAYに移載
- チップ情報をバーコード貼り付け
- UNITRAYを排出
抗折強度測定せずチップをUNITRAYへ移載
※2 オプション対応
仕様
| 仕様 | 単位 | DIS100 | |
|---|---|---|---|
| 対応ウェーハ径 | mm | Φ200 / 300 | |
| 対応チップサイズ | - | □2 mm以上 | |
| 装置寸法（W×D×H） | mm | 1,300 × 1,300 × 1,800 | |
| 装置質量 | kg | 約800 | |
※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。
DIS100DISCO Inspection System
お問い合わせ
ご質問・ご相談等ございましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。