Φ300 mm対応ウェーハマウンタの次世代機

15 um以下の薄化ウェーハのフレームマウントから、表面保護テープの剥 離までを自動化した、DFM2800の次世代機です。装置内のクリーニング機 能を強化し、パーティクルの挟み込みによるウェーハ割れを防止します

装置ダウンタイムの削減

ダイシングテープの供給経路を最適化することで、テープ交換時間を85 % 短縮します（当社従来機比）。また、テープ自動交換ユニットやテープフ レーム供給ユニットなどのオプション機構を追加することで、装置ダウン タイムをさらに削減可能です。