AutoTTV
ソリューション
AutoTTV
AutoTTVはNCG（Non Contact Gauge）によるウェーハ面内の厚み測定結果をもとに、チャックテーブルの傾きを自動調整し、研削によるウェーハ形状を補正する機能です。
プロセスフロー
AutoTTVのメリット
- チャックテーブル手動調整による装置ダウンタイムを削減
- オペレータの調整不良によるTTVばらつきを低減
対応可能なウェーハ形状の例
Regrind AutoTTV（特許取得済み）
Regrind AutoTTVでは研削中に任意の厚さで停止し、ウェーハ形状測定、チャックテーブル傾きの補正後に再研削することで、同一ウェーハの形状補正をする機能です。
プロセスフロー
Regrind AutoTTVのメリット
- 1枚目からウェーハ形状を補正可能
- ウェーハ毎に適切な形状補正を行い、ウェーハ間のTTVばらつきを解消
お問い合わせ
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